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催化燃燒處理裝置的效率在適當(dāng)溫度（350℃左右）下可達到 95%以上，入口廢氣的濃度不同處理效率有所不同，濃度越高處理效率越高[3]。影響處理效率的原因包括：（1）催化劑中毒（附有硫、磷、硅等的化合物）；（2）溫度過低，催化劑活性不足。
當(dāng)處理廢氣中附有容易使催化劑中毒的物質(zhì)時，可在催化劑室前設(shè)置前處理設(shè)備，即增加前處理催化劑。工程中常 采納蜂窩狀的陶瓷類前處理劑來去除硫等物質(zhì)。一樣，廢氣的組成不同，前處理劑的挑選也不同。另外，當(dāng)溫度過低時，氧化催化劑對廢氣中 VOCs 的氧化效率會大幅減弱，所以需要在裝置中設(shè)置熱電偶及傳感器，使即時溫度能及時顯示在 PLC 盤柜顯示屏中，并設(shè)置低溫輕故障警報，當(dāng)溫度過低時自動點燃燃燒加熱器進行升溫。
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