光氧催化廢氣凈化器內置工藝流程：使用高能高臭氧紫外線光束分化空氣中的氧分子發生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而發生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化效果，對有機氣體及其它刺激性異味有馬到成功的鏟除效果。有機性氣體使用排風設備輸入到本凈化設備后，運用高能紫外線光束及臭氧對有機(異味)氣體進行協同分化氧化反響，使有機氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。